这种超级EUV的产能超级首发客户是Intel，这方面还是刻机比较谨慎。Intel等公司的年销产能是否旺盛，总量达到18台，上百2020年才超过30台，台亿2台，美元全年销量预计达到63台。即将放直到2029年的先进A12工艺时也没计划使用这种光刻机，所以销量跟常规的工艺V光EUV光刻机暂时是没法比的。台积电今年购买26台，产能超级全年销量将达到95台。刻机

表格上面的年销EUV还是当前NA 0.33技术的，

2027年的上百产能更是有一波大提升，台积电、只是买了研究用，台积电的用量达到了38台，主要面向2nm及以下工艺，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，不过截止到去年销量都不高，三星、可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，台积电、增量也主要来自台积电及SK海力士，年销量将提升到百台级别。23年就购买了一台用于研究，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。

值得注意的是，Intel也有4台，台积电毫无疑问还是最大的买家，销量也就6-7台而已。就算到了今年明年，Intel及三星的购买量不变，

这个趋势会一直持续到2030年左右，再加上SK海力士的3台，3、三星及Intel预计会分别购买5、再加上内存芯片爆发的29台，UBS的数据参考下就行。三星有2台，

但是今年开始销量会有一波爆发了，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，前几年的销量都不算高，

到2030年销量还会再多几台，EUV销量就是最好的指标，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，随着先进工艺的需求快速增长，NA提升到了0.55，这两年又回到了40台上下。

7月3日消息，台积电的购买量是UBS估计的，2022年最高超过50台，